Yüksek-saflıkta nitrojen, entegre devrelerin, yarı iletkenlerin ve vakumlu elektronik cihazların imalatında koruyucu ve taşıyıcı gaz olarak kullanılır; kimyasal buhar biriktirmede taşıyıcı gaz görevi görür; gazı sıvı difüzyon kaynaklarında taşır; ve yüksek-sıcaklıklı difüzyon fırınlarındaki cihazlar için koruyucu bir gaz görevi görür.
Yüksek-saflıkta nitrojen, epitaksi, fotolitografi, temizleme ve buharlaştırma gibi işlemlerde yer değiştirme, kurutma, depolama ve taşıma için gaz olarak kullanılır. Katot ışın tüpü imalatında %99,99 veya daha yüksek nitrojen saflığı gereklidir. Havacılık ve uzay teknolojisinde, sıvı hidrojen yakıt ikmali sistemlerinin öncelikle yüksek-saflıkta nitrojenle, ardından da yüksek-saflıkta helyumla temizlenmesi gerekir.
Aralık 2025'te, Devlet Piyasa Düzenleme İdaresi, yarı iletken cihaz imalatında temizleme, dağlama ve biriktirme gibi temel işlemlerin yanı sıra entegre devre üretiminde fotolitografi, iyon implantasyonu ve oksidasyon gibi işlemlerde kullanılan yüksek saflıkta nitrojene yönelik ulusal standart malzemeyi onaylayıp yayınladı.